此外，还有许多关键的辅助耗材，光刻掩膜保护膜采用聚酯薄膜，防止掩膜版污染。洁净室耗材包括无尘服、乳胶或丁腈手套、聚丙烯或 pfa 材质的晶圆盒。
设备维护材料则有真空泵油、耐腐蚀的氟橡胶密封圈、石英部件，如炉管、反应腔室等，确保生产设备的正常运行。
芯片制造车间还需要配备了大量的检测设备，如扫描电子显微镜，用于观察芯片表面的微观结构；原子力显微镜，测量芯片表面的平整度和粗糙度；电学参数测试设备，检测芯片的电学性能。
鉴于芯片制造耗材和设备的多样性与重要性，江尚舟建议在鹏城高新区周边区域，精心规划建设耗材产业园与设备产业配套区。
打造鹏城完整产业链的最后一个部分则是政策与资金支持。
江尚舟建议鹏城政府出台一系列优惠政策，如土地租金减免、税收优惠、财政补贴等，吸引国内外优质半导体企业入驻，园区内也需合理规划功能分区，设立光刻区、蚀刻区、薄膜沉积区等多个专业区域，方便企业之间的交流与合作。
在资金支持方面，他又提议设立专项产业基金，如 “鹏城集成电路产业基金”，重点投资设备国产化项目，像半导体刻蚀机，以及材料研发项目，例如大硅片的研发，助力国内半导体企业攻克核心技术。
在土地与基建保障上，以低价土地吸引企业入驻鹏城高新区及周边产业园区时也应同步建设高规格洁净厂房、超纯水供应系统和双回路电网，为企业提供良好的生产环境，解决企业的后顾之忧。
同时，园区还应配套建设研发中心、检测中心、物流中心等公共服务平台，为企业提供技术支持、质量检测、物流配送等一站式服务。
这样才能通过产业集聚效应，降低企业的生产成本，提高生产效率，促进耗材企业之间的技术交流与创新，推动整个芯片制造耗材产业的发展，为鹏城高新区半导体产业的繁荣提供坚实的支撑。
“很好！从你方案里面的各个细节可以看出你确实是把半导体产业不