但到了晚年，随着身体越发衰老。
武则天出于对往生的渴望，大举崇佛，在河南、山西、陕西等地大修寺庙，滥派徭役，给百姓带来了沉重的负担，以至于百姓纷纷逃亡。
为了支付修寺庙等活动的费用，朝廷又增加税收，进一步加重了百姓的负担，使得民不聊生。
同时，土地兼并现象严重，武氏宗族的圈地行为愈演愈烈，国家税源锐减，百姓流离失所。
且此时的武则天因为年老力衰，对朝堂的掌控能力下降，于是安排张昌宗、张易之等男宠，给予他们监视朝堂的权力。
一言而定人生死的权力，催生出严重的利欲熏心。
二张大肆收受贿赂，卖官鬻爵，只要给钱就请命武则天为其封官，导致朝政腐败严重。
并陷害宰相魏元忠密谋拥立太子登基，被武则天免去宰相职务，贬谪为高要县尉。
武承嗣、武三思等武氏皇族，见二张得势，也都争相追捧他们，欲意借此成为太子。
武承嗣、武三思作为武则天的侄子，武则天本人也有此意。
但在来自各方拥护李唐的压力下，武则天进一步认识到人心所向的终究是李唐宗室，如果再一意孤行，就会有丧失人心的危险。
最终还是决定立李显为皇太子。
公元705年，朝臣们对张易之、张昌宗兄弟祸乱朝政的不满达到顶点。
二张作为武则天权力的延伸，实则也是朝臣们对武则天的不满。
于是以张柬之、崔玄暐、敬晖、桓彦范、袁恕己等大臣为首，决心发动政变。
率领左右羽林兵五百余人进入宫中，将二张杀死，逼迫武则天退位，拥立李显即皇帝位，恢复大唐国号，改年号神龙。
武周政权宣告灭亡，李唐王朝得以恢复。
这便是神龙政变。
同年，武则天病逝，享年八十二岁。
李显复辟后，一直受到妻子韦皇后、女儿安乐公主和武氏旧党如武三思等人的影响，张柬之、敬晖等先后被流放或诛杀。
韦皇后有意成为第二个武则天，安乐公主则曾要求成为皇太女。
公元710