终于,ate设备的操作界面上,代表测试状态的指示灯,从红色的准备中,变成了黄色的运行中。
测试,正式开始!
首先进行的是最基础的开短路测试,检查芯片的电源网络和所有io管脚是否存在物理性的短路或断路。这是最低级的、但也是最致命的制造缺陷。
屏幕上的测试进度条缓慢移动着,每一个百分点都牵动着所有人的心。
“os test passed!”
当这行绿色的信息跳出来时,外面的人群中响起了一阵压抑的、小范围的骚动!通过了!最基础的物理连接没问题!
紧接着,是更深入的功能性测试。ate设备开始向芯片输入特定的测试向量,并比对芯片输出的响应信号是否与预期一致。这些测试向量覆盖了芯片内部各个主要功能模块的基本逻辑功能。“pll lock test passed!”
一个个代表着测试项通过的绿色信息不断跳出!
虽然这些还只是初步的功能验证,距离全面的性能测试还很远,但至少证明了:这颗芯片的“骨架”和“神经系统”是健全的!它不是一块“死”的硅片!
“良率!良率怎么样?!”陈家俊最关心的是这个。他凑近屏幕,紧盯着ate软件实时统计出的良率数据。
屏幕上,随着测试的进行,代表“通过”的芯片裸片数量在不断增加,而代表“失败”的数量则增长缓慢。最终,当第一片晶圆的所有有效裸片都测试完毕时,一个令人惊喜的数字出现在屏幕上:
wafer 1 yield: 823 !
“八十二点三?!”陈家俊简直不敢相信自己的眼睛!他甚至怀疑是不是设备出错了!
要知道,这可是65纳米工艺!是启明芯第一次尝试此先进的节点!而且是“天枢一号”这样一颗集成了如此多复杂功能的超大规模soc!按照行业惯例,这种级别的芯片,首次流片的工程样品,良率能达到50就已经算非常成功了!能达到70都值得开香槟庆祝了!
而现在,竟然高达823?!
这简直是……奇迹!
“快!测试下一片晶圆!”陈家俊急促地命令道。
很快,第二片